化學(xué)氣相沉積
日期：2017-7-4 8:53:12 作者： 流量：
化學(xué)氣相沉積技術(shù)是利用氣態(tài)源物質(zhì)表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)物質(zhì)的技術(shù)。在化學(xué)氣相沉積過程中，氣體的壓強(qiáng)可以使常壓或低壓。采用低氣壓化學(xué)氣相沉積時，用旋片式機(jī)械泵使反應(yīng)室的氣體壓強(qiáng)維持在100Pa左右。氣態(tài)物質(zhì)間的反應(yīng)一般是在熱激活條件下進(jìn)行的，多采用電阻加熱或感應(yīng)加熱方式將反應(yīng)室加熱至高溫。CVD的氣源物質(zhì)可以是氣態(tài)源、液態(tài)源和固態(tài)源。在CVD設(shè)備中，通常最關(guān)鍵的部分是反應(yīng)室的結(jié)構(gòu)，有垂直放置的反應(yīng)室和水平放置的反應(yīng)室。他們通常適合在大氣壓或以下的氣壓下采用，通常采用對稱設(shè)計以保證熱量、反應(yīng)物質(zhì)和氣體均勻傳送。相對于垂直放置的反應(yīng)室，水平反應(yīng)室具有生產(chǎn)效率高、使用方便的優(yōu)點，但是也有沉積涂層相對不太均勻的缺點。它垂直于軸向的截面可以是圓形的，也可以是矩形的，為了獲得更均勻的涂層沉積速度，在這類反應(yīng)室中，基座通常以一定的角度傾斜。
此文關(guān)鍵字：
您感興趣的文章
- 石墨烯行業(yè)將迎來產(chǎn)業(yè)化浪潮
- 石墨烯的廣泛應(yīng)用
- 氣體凈化方法
- 化學(xué)氣相沉積
- 石墨烯的主要用途
- 這兩年應(yīng)該是石墨烯產(chǎn)業(yè)發(fā)展的黃金時期
- 石墨烯到底是什么
- 石墨烯在通信領(lǐng)域的應(yīng)用
- 十三五新材料重大專項，石墨烯有望入選
- 習(xí)大大黑龍江高科技成果考察 石墨烯再次上榜
- 習(xí)大大黑龍江高科技成果考察 石墨烯再次上榜
- 石墨烯的廣泛應(yīng)用
- 石墨烯行業(yè)將迎來產(chǎn)業(yè)化浪潮
- 化學(xué)氣相沉積
- 超低功率石墨烯晶體管可達(dá)到100GHz的時鐘速率
- 石墨烯的主要用途
- 這兩年應(yīng)該是石墨烯產(chǎn)業(yè)發(fā)展的黃金時期
- 氣體凈化方法
- 熱電偶的分類及型號規(guī)格
- FP93-中文操作說明書
- 如何提高箱式爐、馬弗爐快速升降溫？
- AMS 2750E高 溫 測 定 法（一）
- 低溫共燒陶瓷（LTCC）專用燒結(jié)鐘罩爐
- 如何校正馬弗爐的實際溫度
- 網(wǎng)帶爐烘爐方法及注意事項
- 高溫共燒陶瓷HTCC
- 熱電偶的分類及型號規(guī)格
- FP93-中文操作說明書
- AMS 2750E高 溫 測 定 法（一）
- 硅碳棒老化的原因分析及改進(jìn)辦法
- AMS 2750E高 溫 測 定 法（二）
- AMS 2750E高 溫 測 定 法（六）
- AMS 2750E高 溫 測 定 法（三）
- 剛玉耐火磚性能及用途
 |
 |
||||
 |
 |
 |
 |
 |
 |
